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簡要描述：國儀量子場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000Pro是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。先進的鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務。
產品型號：SEM5000Pro廠商性質：生產廠家更新時間：2025-06-06訪 問 量：78582
詳細介紹
國儀量子場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000Pro
產品介紹
SEM5000Pro是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。
先進的鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務。
電子槍類型 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
加速電壓 20 V ~ 30 kV
分辨率 0.8 nm @ 15 kV 1.2 nm @ 1 kV
樣品臺 五軸全自動樣品臺
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
場發(fā)射掃描電鏡產品特點
分辨率高，低加速電壓下實現高分辨成像
高壓隧道技術 (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力
電磁復合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復性
磁偏轉六孔可調光闌，自動切換光闌孔，無需機械調節(jié)，實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應用領域
場發(fā)射掃描電鏡規(guī)格參數
| 關鍵參數 | 分辨率 | 0.8 nm @15 kV,SE 1.2 nm @1.0 kV,SE |
| 加速電壓 | 20V~30 kV | |
| 放大倍率 | 1~2,500,000x | |
| 電子槍類型 | 肖特基場發(fā)射電子槍 | |
| 樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動控制 |
| 攝像頭 | 雙攝像頭 (光學導航+樣品倉內監(jiān)控) | |
| 樣品臺行程 | X=110mm,Y=110 mm,Z=50 mm T:-10°~+70°,R:360° | |
| 探測器 和擴展 | 標配 | 鏡筒內電子探測器 旁側二次電子探測器(ETD) |
| 選配 | 插入式背散射電子探測器(BSED) 插入式掃描透射探測器(STEM) 能譜儀(EDS) 背散射衍射(EBSD) 樣品交換倉 軌跡球&旋鈕控制板 | |
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows | |
| 導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
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